气相沉积装备


精工锐意气相沉积装备主要用于大尺寸、高品质单晶/多晶金刚石的生产制造。微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术具有低污染、沉积面积大、生长速率高的突出技术优势,是国际上公认的大尺寸、高品级、功能金刚石产业化制备的最佳方法。