微波等离子体化学气相沉积系统


产品概述:

精工锐意提供DiaCentre-6K-D碟形腔式MPCVD装备,是生产大克拉、高品级培育钻石的的高性能专用装备。

主要优势:

该装备采用碟形腔设计,是目前国内唯一大规模应用的碟形腔式方案,经300余台设备批量应用验证表明,具有成熟、可靠性高、批量一致性好腔体易清洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点。

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