微波等离子体化学气相沉积系统(MPCVD)


产品应用:

主要用于大尺寸、高品质单晶/多晶金刚石的生产制造。

主要优势:

该产品采用全新一代碟形腔设计,是目前国内唯一大规模应用的碟形腔式方案,经过多年的研发攻关及技术积累,实现了2450MHZ 和 915MHZ 两大系列全覆盖,系列产品包括 DiaCentre-6K-D、DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-50K-D、DiaCentre-75K-D等。经过批量应用验证表明,该装备具有成熟、可靠性高、批量致性好、腔体易洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点。

 

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