大尺寸金刚石生产用MPCVD装备


产品概述:

大尺寸金刚石生产装备主要为MPCVD系统,MPCVD系统是目前业界公认的生产大尺寸金刚石的最佳装备,大尺寸的金刚石可以作为半导体衬底材料、电子元器件材料、光学窗口材料等。

主要优势:

该产品采用DiaCentre-6K-D碟形腔式设计,是目前国内唯一大规模应用的碟形腔式方案,经过多年的研发攻关及技术积累,实现了2450MHZ 和 915MHZ 两大系列全覆盖,系列产品包括 DiaCentre-6K-D.DiaCentre-10K-D、DiaCentre-36K-D、DiaCentre-50K-D、DiaCentre-75K-D等。经过批量应用验证表明,该 MPCVD 系统具有成熟、可靠性高、批量致性好,腔体易洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点

+
  • 44.jpg

相关产品