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产品介绍


郑州磨料磨具磨削研究所有限公司开发的DiaCentre-6K-D 碟形腔式MPCVD系统,是生产大尺寸、高品质单晶/多晶金刚石的高性能专用装备。该设备采用碟形腔设计,是目前国内大规模应用的碟形腔式方案,经300余台设备批量应用验证表明,具有成熟、可靠性高、批量一致性好、腔体易清洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点。

DiaCentre-6K-D 碟形腔式 标准机配置清单


NO.1 微波系统 (标配进口6KW微波电源)
微波频率  2.45GHz
功率波动性  最大6kw,连续调节
三销钉调谐器  ≤±10w
微波泄漏   微波泄漏<<0.5mw/cm²@5cm
参数监控 拥有完善的微波电源状态监控系统:输出功率、 反射功率、水温、水流量、湿度、内部和环境温 度、高压监控等
NO.2 反应腔及生长基台
反应腔类型   碟形腔式,实现更大的沉积面积与良好的等离子体均匀性
观察窗口 (测温窗口)   7个观察窗(其中1个用于测温)
生长基台直径   水冷式
钼台直径   建议Φ50mm-70mm,根据客户工艺变化
钼台/生长基台间压力调控   自动压力控制,调节范围5Torr~腔压,该功能旨在调控晶种片生长温度
NO.3 控制系统
集成化全自动生长控制系统,品牌主机,高度的稳定性与可靠性,全面的数据监控系统及历史数据回溯功能,多重联锁保护与故障报警功能,工艺配方加密功能

 

NO.4 真空系统
工作压力范围  工作压力范围10~220Torr,自动压力控制
真空泵  24m³/h(50Hz) 高抽速,双级旋片式真空泵(标配安全阀防逆流)
系统真空漏率  <5x10-¹⁰Pa*m³/s (氨质谱检漏仪测试)
极限真空度  <0.5Pa(标配双级旋片式真空泵) ,选配分子泵可达7×10-³ Pa
NO.5 气路系统
标配五路进口MFC,预留拓展1路
进口半导体级气路管道、阀门、控制系统
NO.6  测温仪
高精度光纤式红外测温仪:450~1400 摄氏度
NO.7 供电、冷却系统
腔体、微波头、微波电源、沉积台等累计冷却水流量≥22L/Min; 供水水压0.5~0.6Mpa;水温20~25°C;实现所有水路的水流量、温度实时监测
供电要求:AC 400V±10%,三相五线制,50Hz
功耗:满功率工况,整机功耗约10.8Kw
NO.8  系统尺寸
电气柜: 1m(长) x 0.7m(宽)x 2.1m(高)、腔体柜:0.9m(长) x 1m(宽)x 1.5m(高)

 

 

可选配置

更多路气体质量流量控制系统

干泵、分子泵系统

进口红外测温仪

定制化需求

应用领域


金刚石材料是目前已知的最坚硬的物质,同时以其优异的光、电、热、声等方面的 优异性能,被誉为“材料之王”,是21世纪最有潜力的材料之一。


实现金刚石功能化应用已成为航空航天探测器、新一代半导体材料、特种光学、核工业电子器件、高功率器件、高性能 电极、传感器等国家重点工程发展的必然需求,具有广阔的应用前景与市场潜力,被列为我国战略性新兴产业。

珠宝首饰应用

电化学应用

光学应用

热学应用

超精密加工应用

半导体应用

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三磨所金刚石产品

大尺寸cvd单晶金刚石

实验室培育钻石

超高导热金刚石

光学级金刚石

硼掺杂金刚石电极

技术支持