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产品介绍


郑州磨料磨具磨削研究所有限公司开发的DiaCentre-6K-D 碟形腔式MPCVD系统,是生产大尺寸、高品质单晶/多晶金刚石的高性能专用装备。该设备采用碟形腔设计,是目前国内大规模应用的碟形腔式方案,经300余台设备批量应用验证表明,具有成熟、可靠性高、批量一致性好、腔体易清洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点。

DiaCentre-6K-D 碟形腔式 标准机配置清单


可选配置

更多路气体质量流量控制系统

干泵、分子泵系统

进口红外测温仪

定制化需求

应用领域


金刚石材料是目前已知的最坚硬的物质,同时以其优异的光、电、热、声等方面的 优异性能,被誉为“材料之王”,是21世纪最有潜力的材料之一。


实现金刚石功能化应用已成为航空航天探测器、新一代半导体材料、特种光学、核工业电子器件、高功率器件、高性能 电极、传感器等国家重点工程发展的必然需求,具有广阔的应用前景与市场潜力,被列为我国战略性新兴产业。

珠宝首饰应用

电化学应用

光学应用

热学应用

超精密加工应用

半导体应用

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